· 
顛覆性的技術革新，致輕、致小，**實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
· 
2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
· 
4.3英寸彩色觸摸顯示屏
· 
可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
· 
設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00
|
品 名 |
塵埃粒子計數(shù)器 |
|
|
型 號 |
3950-00 |
|
|
粒子測量 |
測試方法 |
光散射法 |
|
粒徑通道 |
2粒徑（0.1、0.3μm） |
|
|
額定流量 |
0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) |
|
|
測量時間 |
6秒~99分59秒（1次測量時間） |
|
|
間隔時間 |
6秒~99分59秒（測量周期） |
|
|
采樣次數(shù) |
1~999次 或 連續(xù)測試 |
|
|
地點設定 |
99個地點 |
|
|
測量方式 |
重復、單次、連續(xù)、計算 |
|
|
測量數(shù)據(jù)顯示時間 |
1~10秒 |
|
|
測量數(shù)據(jù)顯示 |
累計值∑ 差分值△及柱形圖 |
|
|
*大可測濃度 |
10,000,000個/m3 |
|
|
計數(shù)效率 |
50±20%（相對于*小可測粒徑附近的PSL粒子） |
|
|
偽 計 數(shù) |
<1個/35min |
|
|
粒徑分辨率 |
15%以下（相對0.3μm的PSL粒子） |
|
|
氣 源 |
內置泵 |
|
|
顯示器 |
4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 |
|
|
通迅功能 |
本 體 |
USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） |
|
數(shù)據(jù)存儲 |
媒 體 |
內存 |
|
數(shù)量、格式 |
*大10,000個、CSV格式 |
|
|
顯示語言 |
英文、日語 |
|
|
電 源 |
AC100~240V |
|
|
使用環(huán)境 |
本 體 |
15~35℃、0~85%RH （無結露） |
|
外形尺寸 |
W150 X H163 X D228 mm |
|
|
重 量 |
3.4kg |
|
